[发明专利]与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺有效
| 申请号： | 201810951478.0 | 申请日： | 2018-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN108942110B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;沈洪立 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 孙辉 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺，涉及半导体的技术领域，包括肩部车削：通过R角成型刀直接车削环件的内圈与端面直角处以及外圈与端面直角处，形成内圈R角、外圈R角以及内外圈衔接端面；肩部滚花：通过R角滚花刀将内圈R角、外圈R角以及内外圈衔接端面进行滚花。本发明提供一种与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺，能够精密设计R角尺寸，通过数据管控滚花位置，保证花纹衔接完美且无乱花碎花等问题，增加产品附着面积，延长产品使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 滚花 肩部 环件 内圈 端面直角 衔接端面 内外圈 产品使用 精密设计 数据管控 车削环 成型刀 滚花刀 车削 附着 花纹 半导体 衔接 保证 | ||
【主权项】：
1.一种与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺，其特征在于，包括：肩部车削：所述环件肩部车削成梯形，通过R角成型刀直接车削环件的内圈与端面直角处以及外圈与端面直角处，形成内圈R角、外圈R角以及内外圈衔接端面；肩部滚花：通过R角滚花刀将所述内圈R角、所述外圈R角以及所述内外圈衔接端面进行滚花，以使所述内圈R角上的花纹、所述外圈R角上的花纹和所述内外圈衔接端面上的花纹相衔接；所述R角滚花刀变换多种角度，所述R角滚花刀与所述环件所在平面呈角度为45°、90°、‑45°。
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