[发明专利]一种激光光刻法PCB线路图形转移和成型工艺在审
申请号: | 201810952491.8 | 申请日: | 2018-08-21 |
公开(公告)号: | CN109041438A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 王章荣;楼红卫;施跃进 | 申请(专利权)人: | 浙江罗奇泰克电子有限公司 |
主分类号: | H05K3/06 | 分类号: | H05K3/06 |
代理公司: | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人: | 吴伟文 |
地址: | 322300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光光刻法PCB线路图形转移和成型工艺,包括如下步骤:1)工艺板表面处理:将工艺板表面处理干净,保证表面无杂质氧化条件下涂布油墨;2)涂布感光油墨:通过涂布轮覆盖全工作板铜箔表面,形成均匀厚度的油墨;3)油墨固化:通过燧道炉均匀的温度使湿油墨中的溶剂挥发后形成干膜;4)光刻线路图形:利用激光和线路图形资料生成不同波长能量的光束,直接对已有感光性干膜的工作板扫描;5)线路图显影:通过显影药液和油墨化学反应冲洗,形成保护性抗蚀刻的线路图形;6)蚀刻线路去油墨:通过碱性或酸性药液蚀刻成线路,后通过碱性去膜药液去除线路上的油墨。 | ||
搜索关键词: | 油墨 蚀刻 线路图形 成型工艺 图形转移 工艺板 工作板 激光光 化学反应 线路图 感光性干膜 波长能量 感光油墨 溶剂挥发 酸性药液 铜箔表面 涂布油墨 显影药液 氧化条件 油墨固化 资料生成 涂布轮 燧道炉 干膜 光刻 去除 去膜 显影 冲洗 激光 扫描 覆盖 保证 | ||
【主权项】:
1.一种激光光刻法PCB线路图形转移和成型工艺,其特征在于,包括如下步骤:1)工艺板表面处理:将工艺板表面处理干净,保证表面无杂质氧化条件下涂布油墨;2)涂布感光油墨:通过涂布轮覆盖全工作板铜箔表面,形成均匀厚度的油墨;3)油墨固化:通过燧道炉均匀的温度使湿油墨中的溶剂挥发后形成4‑6UM的干膜;4)光刻线路图形:利用激光和线路图形资料生成不同波长能量的光束,直接对已有感光性干膜的工作板扫描,利用光化学分子键合原理使油墨固化附着,遮光部份没有化学反应的通过显影药水溶解清洗;5)线路图显影:通过显影药液和没有分子键合的油墨化学反应冲洗,形成保护性抗蚀刻的线路图形;6)蚀刻线路去油墨:通过碱性氯化铜或盐酸酸性氯化铜药液蚀刻成线路,后通过碱性去膜药液去除线路上的油墨。
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