[发明专利]一种动态磁场辅助磁性复合流体超光滑表面的加工方法

摘要

本发明公开了一种动态磁场辅助磁性复合流体超光滑表面的加工方法，包括选用磁性复合流体以及其他组分进行配料，将所得磁性复合流体装入容器内持续搅拌，本发明利用在可变角度空间动态磁场作用下微米级颗粒(粒径在0.5～20μm之间)与加工表面见的微切削作用实现对工件表面材料的亚纳米级去除，可变角度磁场下对磁性复合流体中的微米级颗粒与工件表面间的界面材料去除进行充分的强化与引导，从而很大程度上提高材料表面原子的去除量，提高超光滑表面制造的效率。

主权项

1.一种动态磁场辅助磁性复合流体超光滑表面的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、选用磁性复合流体以及其他组分进行配料，利用超声波搅拌对所得流体进行分散2分钟，再利用机械搅拌方法对其所得流体进行分散3分钟，制得所需的磁性复合流体；S2、将所得磁性复合流体装入容器内持续搅拌；依次打开伺服电机，使磁场源固定装置和抛光液载板同时以给定速度反向旋转，产生空间动态磁场；S3、打开伺服电机，使工件旋转；S4、打开定量输出装置，将一定量机械混合抛光流体通过输出管喷注到抛光液载板底部；磁场与复合流体产生磁场效应，通过计算机控制多自由度工作台实现工件的特定运动，从而实现工件表面材料的可控去除。S5、磁性复合流体的循环利用，抛光液载板上的磁性复合流体在对工件完成超光滑表面加工后，通过循环泵将使用过的磁性复合流体送入回收容器中，重新进行搅拌、冷却及分散，然后通过输出装置和输入管将磁性复合流体送回抛光液载板处，实现磁性复合流体的循环利用。