[发明专利]一种纳米位移台扫描运动控制系统及其实现方法

摘要

本发明公开了一种纳米位移台扫描运动控制系统及其实现方法，属于微纳米操控领域。所述系统包括DSP主控制板、X轴信号合成器、Y轴信号合成器以及位置信号反馈单元，所述的DSP主控制板包括DSP芯片和DSP总线接口等，所述的X轴信号合成器和Y轴信号合成器分别包括主DA单元、增益DA单元、平移DA单元、旋转DA单元以及求和运放单元；所述DSP主控制板通过DSP总线接口，为X轴信号合成器发送X轴信号，为Y轴信号合成器发送Y轴信号；同时接收来自所述位置信号反馈单元的X轴反馈信号和Y轴反馈信号。利用本发明可以准确的调整扫描区域平移量，又确保了扫描区域始终使用16位DA输出能力，有效提高了扫描运动分辨力。

主权项

1.一种纳米位移台扫描运动控制系统，其特征在于，所述控制系统包括DSP主控制板、X轴信号合成器、Y轴信号合成器以及位置信号反馈单元，利用所述纳米位移台扫描运动控制系统实现对纳米位移台的扫描运动控制；所述DSP主控制板通过DSP总线接口，为X轴信号合成器发送X轴信号，为Y轴信号合成器发送Y轴信号；同时接收所述位置信号反馈单元输出的X轴反馈信号和Y轴反馈信号；所述X轴信号合成器接收所述DSP主控制板输出的X轴信号，并对所述X轴信号进行处理，生成X轴位置数据，将所述X轴位置数据输出到纳米位移台；所述Y轴信号合成器接收所述DSP主控制板输出的Y轴信号，并对所述Y轴信号进行处理，生成Y轴位置数据，将所述Y轴位置数据输出到纳米位移台；所述纳米位移台具有X轴位置信号输出接口和Y轴位置信号输出接口，所述X轴位置信号输出接口输出X轴位置信号给所述位置信号反馈单元，所述Y轴位置信号输出接口输出Y轴位置信号给所述位置信号反馈单元；所述位置信号反馈单元对X轴位置信号和Y轴位置信号分别生成的X轴反馈信号和Y轴反馈信号，输入到DSP主控制板；所述纳米位移台具有X轴模拟量接口和Y轴模拟量接口，所述X轴模拟量接口接收由X轴信号合成器输出的X轴位置数据，所述Y轴模拟量接口接收由Y轴信号合成器输出的Y轴位置数据，所述纳米位移台根据所述X轴位置数据和所述Y轴位置数据进行扫描运动，同时纳米位移台生成X轴位置信号和Y轴位置信号，将X轴位置信号和Y轴位置信号分别通过X轴位置信号输出接口和Y轴位置信号输出接口传输给位置信号反馈单元。