[发明专利]一种高性能高雾度TCO玻璃制造方法在审
| 申请号： | 201810956965.6 | 申请日： | 2018-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN109305762A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 范四立;舒雨锋;毛峰;万松峰;何庆炎;熊长炜 | 申请（专利权）人： | 东莞职业技术学院 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 北京鑫浩联德专利代理事务所(普通合伙) 11380 | 代理人： | 李荷香;吕爱萍 |
| 地址： | 523808 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高性能高雾度TCO玻璃制造方法，其中TCO薄膜由两层构成，底层是ITO薄膜，上层是FTO薄膜，所述方法包括利用超声波喷雾成膜装置形成ITO薄膜和利用热喷涂成膜装置形成FTO薄膜的步骤，通过将两种方法的结合，能够确保TCO薄膜的低电阻高导电性，也能够保证TCO表面的高雾度特性，可提高TCO玻璃的光吸收，从而能够提高光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 高雾度 成膜装置 光电转换效率 超声波喷雾 高导电性 低电阻 光吸收 热喷涂 两层 制造 上层 保证 | ||
【主权项】：
1.一种高性能高雾度TCO玻璃制造方法，其中TCO薄膜由两层构成，底层是ITO薄膜，上层是FTO薄膜，所述方法包括利用超声波喷雾成膜装置形成ITO薄膜和利用热喷涂成膜装置形成FTO薄膜的步骤：1）对玻璃基板先后利用清洗剂、自来水、超纯水进行清洗，清洗后将玻璃基板烘干；2）将1：32的SnCl4·5H2O 和InCl3·5H2O，溶于18ml醇类和H2O的溶剂中，配比相应的混合液，并将混合液加入到药液罐中；3）利用超声波喷雾成膜装置形成ITO薄膜；4）配备FTO的制备混合液，使用SnCl4、甲醇与盐酸进行反应；5）按照 SnCl4·5H2O与NH4F占4.8Wt%，加入甲醇与水为5.5：1的溶剂中，其中SnCl4·5H2O与溶剂之间按照每1g加入5ml的比例进行稀释；6）利用热喷涂成膜装置制备FTO薄膜。
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