[发明专利]一种四轴高精度压头

摘要

本发明公开了一种四轴高精度压头，包括：探针压头组件、直线电机、线性模组、电动滑台、DD马达和两个CCD相机组件。由直线电机调整X轴方向的偏差，由线性模组调整Y轴方向的偏差。由DD马达调整θ轴方向的偏差，由电动滑台在Z轴方向上起到下压作用。探针压头组件的一端设有屏幕放置台，CCD相机组件位于屏幕放置台的上方。本实施例提供的四轴高精度压头通过CCD相机组件拍摄屏幕，进行二次对位；根据探针与Pad点的位置关系，自动补偿探针的X、Y和θ位置，保证探针能够与pad点完美贴合，实现高精度的压合点亮过程。因此，通过可视化人工点亮，大大提升点亮效率和点亮精度，经过补偿后可以实现满足COF机种探针pad点压合的高精度定位和运动的要求。

主权项

1.一种四轴高精度压头，其特征在于，包括：探针压头组件(1)、直线电机(2)、线性模组(3)、电动滑台(4)、DD马达(5)和两个CCD相机组件(6)，其中，所述线性模组(3)固定在直线电机(2)的上端，所述直线电机(2)的驱动方向为X轴限定方向，线性模组(3)的驱动方向为Y轴限定方向；所述电动滑台(4)位于直线电机(2)的一侧，电动滑台(4)与直线电机(2)的底部连接；所述电动滑台(4)的驱动方向为Z轴限定方向；所述DD马达(5)通过电动滑台(4)与直线电机(2)连接，所述DD马达(5)通过连接件(7)与电动滑台(4)连接；所述连接件(7)用于罩住DD马达(5)；所述DD马达(5)的旋转方向为θ轴限定方向；所述探针压头组件(1)与DD马达(5)的底部连接，所述探针压头组件(1)、直线电机(2)和DD马达(5)位于一直线上，以通过直线电机(2)、线性模组(3)、电动滑台(4)和DD马达(5)调整探针压头组件(1)在X、Y和θ轴方向上的位置偏差，通过电动滑台(4)下压探针压头组件(1)；所述探针压头组件(1)的设有探针的一侧设有屏幕放置台(8)；两个所述CCD相机组件(6)设置在DD马达(5)的远离直线电机(2)一侧的斜上方，位于屏幕放置台(8)的上方；两个所述CCD相机组件(6)之间的连线与直线电机(2)的X轴限定方向平行。