[发明专利]一种宽波长域的高效减反射膜及光学系统

摘要

本发明公开了一种宽波长域的高效减反射膜及采用该减反射膜的投影显示光学系统和拍摄成像光学系统，减反射膜包括基底及设置在基底上依次由色散补偿膜堆、导纳匹配膜堆和增透膜堆构成的多层膜系所组成。色散补偿膜堆由高折射率Ta₂O₅膜和次低折射率SiO₂膜交替组成；导纳匹配膜堆由高折射率Ta₂O₅膜和低折射率MgF₂膜交替组成；增透膜堆依次由中间折射率Al₂O₃膜、高折射率Ta₂O₅膜以及低折射率MgF₂膜组成；膜层数为16～23层。该减反射膜在波长域450～650nm内的平均残余反射率为0.0023％。这种减反射膜在投影显示和拍摄成像系统中具有重要意义。

主权项

1.一种宽波长域的高效减反射膜，包括基底以及设置在所述基底上的多层膜系，其特征在于，所述的多层膜系由依次设置在所述基底上的色散补偿膜堆、导纳匹配膜堆和增透膜堆构成；所述的基底为光学玻璃或光学塑料；所述的色散补偿膜堆由次低折射率的二氧化硅膜和高折射率的五氧化二钽膜或二氧化钛膜交替组成；所述的导纳匹配膜堆由低折射率的氟化镁膜和高折射率的五氧化二钽膜或二氧化钛膜交替组成；所述的增透膜堆依次由中间折射率的三氧化二铝膜、高折射率的五氧化二钽膜或二氧化钛膜以及低折射率的氟化镁膜组成。