[发明专利]涂布机光阻回收系统在审
| 申请号： | 201810962122.7 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN108983551A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 李亚明;彭建中;徐飞;张伟伟;张良;吴昌龙 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/30 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210033 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可回收涂布机光阻系统，包括光阻桶、脱气模组、过滤器、涂布泵、涂布头、光阻回收罐和光阻回收桶，所述可回收涂布机光阻系统包括新光阻供给系统和光阻回收系统，所述新光阻供给系统中，光阻回收桶连接脱气模组，脱气模组连接过滤器，过滤器连接涂布泵，涂布泵连接涂布头；所述光阻回收系统中，脱气模组、过滤器、涂布泵和涂布头分别与光阻回收罐连接，光阻回收罐连接光阻回收桶，光阻回收桶连接脱气模组。本发明的有益效果：1）最大程度的回收浪费的光阻用于产品生产，避免光刻胶浪费。2）集光阻回收利用和废液收集于一体，并且自动回收及自动供应。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻 模组 脱气 回收桶 过滤器 回收系统 回收罐 涂布机 涂布头 供给系统 光阻系统 可回收 过滤器连接 产品生产 废液收集 回收利用 自动供应 自动回收 泵连接 光刻胶 集光 回收 | ||
【主权项】：
1.可回收涂布机光阻系统，其特征是包括光阻桶、脱气模组、过滤器、涂布泵、涂布头、光阻回收罐和光阻回收桶，所述可回收涂布机光阻系统包括新光阻供给系统和光阻回收系统，所述新光阻供给系统中，光阻回收桶连接脱气模组，脱气模组连接过滤器，过滤器连接涂布泵，涂布泵连接涂布头；所述光阻回收系统中，脱气模组、过滤器、涂布泵和涂布头分别与光阻回收罐连接，光阻回收罐连接光阻回收桶，光阻回收桶连接脱气模组。
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