[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体

摘要

本申请提供具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器包括基板、固定于基板的固定部、能够相对于固定部在第一方向上进行位移的可动部、设置于可动部的可动电极部、固定于基板并与可动电极部在所述第一方向上相对配置的固定电极部、以及限制可动部在第一方向上的可动范围的限制部。可动部包括配置于所述第一方向上的一侧的第一外缘部和配置于另一侧的第二外缘部。限制部包括与第一外缘部隔开间隙而配置的第一限制部以及与第二外缘部隔开间隙而配置的第二限制部中至少任一方。

主权项

1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；固定部，固定于所述基板；可动部，相对于所述固定部能够在第一方向上进行位移；可动电极部，设置于所述可动部；固定电极部，固定于所述基板，并配置成与所述可动电极部在所述第一方向上相对；以及限制部，限制所述可动部在所述第一方向上的可动范围，所述可动部包括：第一外缘部，在所述第一方向上的一侧沿与所述第一方向正交的第二方向而配置；以及第二外缘部，在所述第一方向上的另一侧沿所述第二方向而配置，所述限制部包括第一限制部和第二限制部中至少任一方，所述第一限制部在所述第一外缘部的与所述固定部一侧相反的一侧，与所述第一外缘部隔开间隙而配置，所述第二限制部在所述第二外缘部的与所述固定部一侧相反的一侧，与所述第二外缘部隔开间隙而配置。