[发明专利]激光光束分析仪单元和激光加工装置有效
| 申请号： | 201810965621.1 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN109454324B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 九鬼润一;约耳·科维尔;前田圭之介 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/70;G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供激光光束分析仪单元和激光加工装置，能够准确地测量实际照射至被加工物的会聚后的激光光束的概况。该分析仪单元对从激光振荡器(24)振荡出的激光光线的强度分布进行测量，其中，该分析仪单元包含：放大光学系统(73)，其将从激光振荡器(24)振荡出并且被聚光透镜(26)会聚的激光光线的光斑直径放大；第1透过棱镜(72)，其使激光光线衰减；第2透过棱镜(74)，其使被该第1透过棱镜(72)反射的激光光线进一步衰减；拍摄元件(77)，其对被该第2透过棱镜(74)反射的激光光线进行受光；以及解析部(80)，其根据拍摄元件(77)的受光数据对激光光线(201)的光斑的强度分布进行解析。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 光束 分析 单元 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光光束分析仪单元，其对从搭载于激光加工装置的激光振荡器振荡出的激光光束的强度分布进行测量，其中，该激光光束分析仪单元具有：放大光学系统，其将从该激光振荡器振荡出并且被聚光透镜会聚的该激光光束的光斑直径放大；第1透过棱镜，其使该激光光束衰减；第2透过棱镜，其使被该第1透过棱镜反射的激光光束进一步衰减；拍摄元件，其对被该第2透过棱镜反射的该激光光束进行受光；以及解析部，其根据该拍摄元件的受光数据对激光光束的光斑的强度分布进行解析。
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