[发明专利]一种碲镉汞掺金母液的制备方法在审

专利信息
申请号: 201810965908.4 申请日: 2018-08-23
公开(公告)号: CN109097836A 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 胡尚正;刘铭;吴卿;徐强强;折伟林;杨海燕;周立庆 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: C30B29/48 分类号: C30B29/48;C30B19/00;H01L31/0296;H01L31/09
代理公司: 工业和信息化部电子专利中心 11010 代理人: 张然
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种碲镉汞掺金母液的制备方法,包括:将碲化金加入碲镉汞混合物中,其中碲镉汞混合物按照碲镉汞母液中碲、镉、汞的比例进行配比得到;将加入碲化金的碲镉汞混合物在真空环境中加热到第一预设温度进行均匀化处理,得到碲镉汞掺金混合液体;将碲镉汞掺金混合液体进行冷却,得到碲镉汞掺金母液。本发明的技术方案可以解决母液在制备过程中Au含量低很难精确量及母液均匀化的问题,避免制备过程中母液氧化的问题,从而较好的解决原位掺杂碲镉汞外延膜浓度可控以及均匀性问题。
搜索关键词: 碲镉汞 母液 掺金 混合物 混合液体 制备过程 碲化 制备 均匀化处理 均匀性问题 碲镉汞外延 原位掺杂 真空环境 均匀化 可控 配比 预设 加热 冷却
【主权项】:
1.一种碲镉汞掺金母液的制备方法,其特征在于,包括:将碲化金加入碲镉汞混合物中,其中所述碲镉汞混合物按照碲镉汞母液中碲、镉、汞的比例进行配比得到;将加入所述碲化金的碲镉汞混合物在真空环境中加热到第一预设温度进行均匀化处理,得到碲镉汞掺金混合液体;将所述碲镉汞掺金混合液体进行冷却,得到碲镉汞掺金母液。
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