[发明专利]一种LED制作专用的晶圆滚磨加工设备

摘要

本发明涉及一种LED制作专用的晶圆滚磨加工设备，包括底板，底板上通过电机座安装有转动电机，转动电机的输出轴上安装有滚磨转动板，滚磨转动板的右端安装有滚磨执行装置，滚磨转动板中部安装有滚磨固定装置，底板的左端安装有滚磨辅助装置。本发明可以解决现有硅晶棒在滚磨加工过程中在的需要人工借助现有设备对硅晶棒进行滚磨处理，需要人工对硅晶棒进行检测，需要人工对硅晶棒进行固定，针对不同规格的硅晶棒需要人工调节固定工具，操作复杂，人工借助工具对硅晶棒进行滚磨不规律，无法保证硅晶棒滚磨的精确性，需要对滚磨后的硅晶棒进行二次检测，影响硅晶棒的使用效果，且硅晶棒滚磨掉的颗粒需要人工进行清理回收。

主权项

1.一种LED制作专用的晶圆滚磨加工设备,包括底板(1)，其特征在于：底板(1)上通过电机座安装有转动电机(2)，转动电机(2)的输出轴上安装有滚磨转动板(3)，滚磨转动板(3)的右端安装有滚磨执行装置(4)，滚磨转动板(3)中部安装有滚磨固定装置(5)，底板(1)的左端安装有滚磨辅助装置(6)；所述滚磨固定装置(5)包括通过轴承安装在滚磨转动板(3)上的固定旋转柱(51)，固定旋转柱(51)为空壳结构，固定旋转柱(51)上沿其周向方向均匀设置有固定调节槽，固定调节槽内设置有固定调节机构(52)，固定旋转柱(51)的内壁上安装有固定推动气缸(53)，固定推动气缸(53)的顶端通过法兰安装在固定驱动架(54)上，固定驱动架(54)与固定调节机构(52)之间相互配合运动；所述滚磨辅助装置(6)包括通过电机座安装在底板(1)上的辅助转向电机(61)，辅助转向电机(61)的输出轴上安装有辅助转向板(62)，辅助转向板(62)上安装有辅助升降气缸(63)，辅助升降气缸(63)的顶端通过法兰安装在辅助升降架(64)上，辅助升降架(64)的侧壁上安装有辅助伸缩气缸(65)，辅助伸缩气缸(65)的顶端通过法兰安装在辅助支撑架(66)上，辅助支撑架(66)上设置有辅助作业孔，辅助作业孔内通过滑动配合方式安装有辅助抵靠架(67)，辅助抵靠架(67)呈倒T型结构，且辅助抵靠架(67)的下端包裹有橡胶，辅助抵靠架(67)与辅助支撑架(66)之间设置有辅助复位弹簧(68)，辅助抵靠架(67)的上端通过轴承设置有辅助辊(69)，辅助支撑架(66)上通过销轴设置有辅助工作板(610)，辅助工作板(610)抵靠在辅助辊(69)的外壁上，且辅助工作板(610)与辅助支撑架(66)之间通过销轴连接有辅助工作气缸(611)；所述滚磨执行装置(4)包括安装在滚磨转动板(3)上的滚磨参照架(41)，滚磨参照架(41)的中部设置有滚磨调节槽，滚磨调节槽内设置有滚磨调节机构(7)，滚磨参照架(41)与滚磨转动板(3)之间通过滑动配合方式连接有执行安装架(42)，执行安装架(42)与滚磨参照架(41)的内壁之间连接有执行弹簧(43)，执行安装架(42)的内壁上通过电机座安装有执行驱动电机(44)，执行驱动电机(44)的输出轴上通过联轴器与执行丝杠(45)的下端相连，执行丝杠(45)的上端通过轴承安装在执行安装架(42)上，执行丝杠(45)上设置有执行滑块(46)，执行滑块(46)通过滑动配合方式与执行安装架(42)相连，执行滑块(46)上安装有执行作业架(47)，执行作业架(47)的侧壁上设置有除尘口，除尘口处设计有除尘机构(48)，执行作业架(47)上设置有执行机构(49)，执行机构(49)位于除尘机构(48)的正上方。