[发明专利]一种双层栅网球形二次电子收集器有效
| 申请号： | 201810966450.4 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN109100380B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 何佳龙;龙继东;彭宇飞;李杰;杨振;刘平;王韬;李喜;董攀;蓝朝晖;郑乐;刘尔祥;赵伟;杨洁;石金水 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双层栅网球形二次电子收集器，包括由内到外的：球形接地栅网、球形偏压栅网、球形二次电子收集极、球形接地屏蔽电极；上半球的顶部开有用于导入入射电子束的孔，下半球的底部开有用于将被测样品通过样品测试载台送入二次电子收集器中心的孔；两层球形栅网与两层球形电极之间彼此绝缘，内层球形栅网接地，用于屏蔽偏压球形栅网引入的电场；外层球形栅网接偏压电源，通过正负偏压的切换实现对真二次电子和背散射电子的甑别；外层球形栅网接可调电压的负电压源，对能够通过外层球形栅网的二次电子进行能量筛选；该收集器可以提高二次电子收集效率，降低被测信号受到的干扰，从而提高固体材料二次电子发射特性的测量准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 网球 二次电子 收集 | ||
【主权项】：
1.一种双层栅网球形二次电子收集器，其特征在于，所述收集器包括：由内到外的：球形接地栅网、球形偏压栅网、球形二次电子收集极、球形接地屏蔽电极；球形接地栅网、球形偏压栅网、球形二次电子收集极、球形接地屏蔽电极均由上下两个半球组合成一个球体；上半球的顶部开有入射电子枪导管插入孔，用于导入入射电子束，下半球的底部开有样品测试载台插入孔，用于将被测样品通过样品测试载台送入二次电子收集器中心；两层球形栅网与两层球形电极之间彼此绝缘，内层球形栅网接地，用于屏蔽偏压球形栅网引入的电场；外层球形栅网接偏压电源，通过正负偏压的切换实现对真二次电子和背散射电子的甑别；外层球形栅网接可调电压的负电压源，对能够通过外层球形栅网的二次电子进行能量筛选。
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