[发明专利]一种基于布洛赫表面波的多孔硅生物传感器及其设计方法有效
申请号: | 201810966501.3 | 申请日: | 2018-08-23 |
公开(公告)号: | CN109100308B | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 葛道晗;施建培;张立强;张桢;杨宁;程广贵;杨平;丁建宁 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | G01N21/21 | 分类号: | G01N21/21 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供基于布洛赫表面波的多孔硅生物传感器及其设计方法,包括至下而上依次连接的硅基底层、Bragg反射镜层、缓冲层和圆孔型光子晶体光栅层;所述Bragg反射镜层包括N个周期循环交替排列的高孔隙率多孔硅层和低孔隙率多孔硅层;所述圆孔型光子晶体光栅层上设有晶格排列的空气孔周期阵列;所述空气孔周期阵列以晶格常数a排列。本发明利用严格耦合波分析法,首次在硅基底层上设计一种简单的全多孔硅多层电介质光栅结构,使得多孔硅生物传感器的灵敏度大幅度提高,本发明具有检测灵敏度高、结构简单和检测精确等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 布洛赫 表面波 多孔 生物 传感器 及其 设计 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于布洛赫表面波的多孔硅生物传感器,其特征在于,包括至下而上依次连接的硅基底层(1)、Bragg反射镜层(2)、缓冲层(3)和圆孔型光子晶体光栅层(4);所述Bragg反射镜层(2)包括N个周期循环交替排列的高孔隙率多孔硅层(201)和低孔隙率多孔硅层(202);所述圆孔型光子晶体光栅层(4)上设有多个空气孔(401),所述空气孔(401)以晶格常数a排列。
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