[发明专利]一种高精度树脂超薄切割锯片在审
| 申请号： | 201810967526.5 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN108972923A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 吕升东;刘宏伟;刘星星;岳家兴 | 申请（专利权）人： | 沈阳中科超硬磨具磨削研究所 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高精度树脂超薄切割锯片，所述切割锯片厚度为48‑50μm，直径为40‑42mm；工作磨料层成分按重量比为：树脂结合剂50‑70，纳米级SiO210‑20,纳米级Al2O35‑15，纳米级TiO21‑10，纳米级锡粉1‑5，金刚石10‑20；所述树脂结合剂为光固化树脂。本发明有益的效果是：本发明实现了微米级厚度的切割锯片，提高生产速度，实现了切割锯片的预期整体指标。该种切割锯片具有：1)切割效率高；2)线速度高；3)平面度高；4)晶圆的表面质量好；5)切割锯片形状保持系高，具有很高的耐磨性。 | ||
| 搜索关键词： | 切割锯片 纳米级 树脂结合剂 超薄切割 树脂 锯片 工作磨料层 光固化树脂 金刚石 耐磨性 切割效率 形状保持 整体指标 平面度 微米级 重量比 晶圆 锡粉 生产 | ||
【主权项】：
1.一种高精度树脂超薄切割锯片，其特征在于：所述切割锯片厚度为48‑50μm，直径为40‑42mm；工作磨料层成分按重量比为：光固化树脂结合剂50‑70，纳米级SiO210‑20,纳米级Al2O35‑15，纳米级TiO21‑10，纳米级锡粉1‑5，金刚石10‑20。
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