[发明专利]芯片用存储转运装置有效
申请号: | 201810967682.1 | 申请日: | 2018-08-23 |
公开(公告)号: | CN109230506B | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 黄晓波 | 申请(专利权)人: | 重庆市嘉凌新科技有限公司 |
主分类号: | B65G47/91 | 分类号: | B65G47/91 |
代理公司: | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人: | 成艳 |
地址: | 401326 重庆市九*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明涉及芯片加工领域,尤其涉及芯片用存储转运装置,包括竖板,竖板上设有弯折孔,竖板上滑动连接有滑板,滑板上设有斜孔,斜孔与弯折孔之间共同穿设有横杆,横杆上设有吸盘机构,竖板的下方设有加工台,弯折孔一端的下方活塞机构,活塞机构包括腔体、滑动连接在腔体中的活塞、连接在活塞上的活塞杆,活塞杆远离活塞的一端放置有顶部开口的箱体,弯折孔位于箱体上方的一端设有挤压气囊,挤压气囊与腔体之间连通有气管,挤压气囊上设有第一单向进气阀,气管与腔体之间连接有第二单向进气阀,腔体上设有控制阀。本方案实现了箱体中的晶圆的自动转移。 | ||
搜索关键词: | 芯片 存储 转运 装置 | ||
【主权项】:
1.芯片用存储转运装置,其特征在于:包括竖板,所述竖板上设有弯折孔,竖板上滑动连接有滑板,所述滑板上设有斜孔,斜孔与弯折孔之间共同穿设有横杆,所述横杆上设有吸盘机构,竖板的下方设有加工台,所述弯折孔一端的下方活塞机构,活塞机构包括腔体、滑动连接在腔体中的活塞、连接在活塞上的活塞杆,所述活塞杆远离活塞的一端放置有顶部开口的箱体,所述弯折孔位于箱体上方的一端设有挤压气囊,挤压气囊与腔体之间连通有气管,所述挤压气囊上设有第一单向进气阀,气管与腔体之间连接有第二单向进气阀,所述腔体上设有控制阀。
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