[发明专利]芯片切割清洗设备在审
| 申请号： | 201810969520.1 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN108818987A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 黄晓波 | 申请（专利权）人： | 重庆市嘉凌新科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人： | 成艳 |
| 地址： | 401326 重庆市九*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片加工领域，尤其涉及芯片切割清洗设备，包括切割机构和清洗机构，清洗机构包括竖直设置的清洗盘，清洗盘的中部转动连接有用于夹持晶圆的夹子，清洗盘上设有环形的滑槽，夹子位于滑槽的圆心处，滑槽上滑动连接有喷头，夹子与喷头之间连接有连杆，夹子上连接有用于驱动夹子转动的第一电机。本方案提高了晶圆在切割过程中的清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 夹子 清洗盘 滑槽 喷头 清洗机构 清洗设备 芯片切割 晶圆 滑动连接 切割过程 切割机构 清洗效率 竖直设置 芯片加工 转动连接 圆心处 夹持 转动 电机 驱动 | ||
【主权项】：
1.芯片切割清洗设备，包括切割机构和清洗机构，其特征在于：所述清洗机构包括竖直设置的清洗盘，所述清洗盘的中部转动连接有用于夹持晶圆的夹子，清洗盘上设有环形的滑槽，夹子位于滑槽的圆心处，所述滑槽上滑动连接有喷头，所述夹子与喷头之间连接有连杆，夹子上连接有用于驱动夹子转动的第一电机。
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