[发明专利]双向ESD防护器件

摘要

本发明提供一种双向ESD防护器件，包括：P型衬底、N型外延、NTOP层、第一PWELL区、第一N+接触区、第一P+接触区、第一NTOP层、第二PWELL区、第二N+接触区、第二P+接触区、第二NTOP层，第一N+接触区、第一P+接触区通过金属短接形成金属阳极，第二N+接触区、第二P+接触区通过金属短接形成金属阴极；本发明通过在N型外延层上方引入NTOP层改变电流分布，使器件IV曲线呈现出多次snapback的特性，提高器件在ESD脉冲电流下的鲁棒性；为避免器件发生闩锁，可以通过调整NTOP层与第一PWELL区、第二PWELL区之间的间距来调节维持电流。

主权项

1.一种双向ESD防护器件，其特征在于包括：P型衬底(00)、位于P型衬底上方的N型外延(01)、位于N型外延上方的NTOP层(13)；位于N型外延上方左侧的第一PWELL区(201)、位于第一PWELL区内部上方的第一N+接触区(111)、位于第一PWELL区内部上方的第一P+接触区(211)、位于第一PWELL区内部上方的第一NTOP层(121)；其中第一P+接触区(211)位于第一N+接触区(111)左侧，第一NTOP层(121)位于第一N+接触区(111)右侧；位于N型外延上方右侧的第二PWELL区(202)、位于第二PWELL区内部上方的第二N+接触区(112)、位于第二PWELL区内部上方的第二P+接触区(212)、位于第二PWELL区内部上方的第二NTOP层(122)；其中第二P+接触区(212)位于第二N+接触区(112)右侧，第二NTOP层(122)位于第二N+接触区(112)左侧；其中NTOP层(13)位于N型外延(01)上表面，且与第一PWELL区(201)、第二PWELL区(202)相离；第一N+接触区(111)与第一P+接触区(211)通过金属短接形成金属阳极(31)，第二N+接触区(112)、第二P+接触区(212)通过金属短接形成金属阴极(32)。