[发明专利]一种用于焦距检测的双刀口差分检测装置、检测方法及数据处理方法有效
| 申请号： | 201810973049.3 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN109115467B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 赵恒;崔建朋;胡庆;刘杰;马平;鄢定尧;黄金勇;蔡超;王刚;何祥;谢磊 | 申请（专利权）人： | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 阳佑虹 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可用于球面、非球面反射镜或透镜的焦距检测的双刀口差分检测装置、检测方法及数据处理方法，特别适用于大口径长焦距光学元件的焦距检测，涉及光学检测领域。沿光路方向该装置主要包括光源（1）、光束聚焦透镜组（2）、第一光束分光元件（3）、反射元件组（4、5、6、7、8、9）、滤波小孔（10、11）、第二光束分光元件（12）、被测光学元件（13）、切光刀口（14、15）、数字成像系统（16）；本发明提供的双刀口差分检测装置由于采用了两套对称的刀口检测光路，并形成两个对称的阴影图像，通过使用差分处理分析的方法，具有很好的抗干扰能力，更易于实现刀口阴影检测的全数字化检测，进而能够显著提高刀口检测法对焦距检测的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 焦距 检测 双刀 口差分 装置 方法 数据处理 | ||
【主权项】：
1.一种用于焦距检测的双刀口差分检测装置，其特征在于，沿光路方向该装置主要包括光源(1)、光束聚焦透镜组(2)、第一光束分光元件(3)、反射元件组(4、5、6、7、8、9)、滤波小孔(10、11)、第二光束分光元件(12)、被测光学元件(13)、切光刀口(14、15)、数字成像系统(16)；当光源(1)发出的光经过光束聚焦透镜组(2)的两个聚焦透镜聚焦后，由第一光束分光元件(3)将聚焦光束分为光强相等方向垂直的两束光，这两束光分别经过反射元件组反射后，在两个滤波小孔(10、11)处聚焦为两个点光源，通过滤波小孔(10、11)滤波后的光束透过第二光束分光元件(12)入射到被测光学元件(13)的球面，经被测光学元件(13)的球面反射后再通过第二光束分光元件(12)反射在两个切光刀口(14、15)处成像为两个像点，最后由数字成像系统(16)对两个像点进行数字成像和处理。
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