[发明专利]一种石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底在紫外LED技术中的应用有效
| 申请号： | 201810974236.3 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN109166951B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 刘忠范;陈召龙;高鹏 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号： | H01L33/12 | 分类号： | H01L33/12;H01L33/00;H01L33/22;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 董天宝;于宝庆 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底在紫外LED技术中的应用，包括石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底和位于所述石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底上的LED单元，其中所述石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底包括：纳米图形化蓝宝石衬底；以及石墨烯层，形成在所述纳米图形化蓝宝石衬底的表面上。本发明的石墨烯紫外LED器件通过在纳米图形化蓝宝石衬底上生长高质量、层数可控、均匀的石墨烯薄膜，降低了外延紫外LED器件结构中量子阱处的位错密度与应力，提升光提取效率，为高光效紫外LED技术开发奠定了基础，对于紫外器件的制造具有重大意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 纳米 图形 蓝宝石 衬底 紫外 led 技术 中的 应用 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底在紫外LED技术中的应用，其特征在于，所述石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底包括：纳米图形化蓝宝石衬底；以及石墨烯层，形成在所述纳米图形化蓝宝石衬底的表面上。
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