[发明专利]匹配网络、阻抗匹配器以及阻抗匹配方法有效
| 申请号： | 201810974543.1 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN110858530B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 简师节 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种匹配网络，匹配网络包括信号输入端、信号输出端、第一匹配单元、第二匹配单元以及开关元件，其中，第一匹配单元的输入端与信号输入端电连接，第一匹配单元的输出端与信号输出端电连接；第二匹配单元的输入端与开关元件的一端电连接，第二匹配单元的输出端与信号输出端电连接，开关元件的另一端与信号输入端电连接。本发明还提供一种阻抗匹配器以及一种阻抗匹配方法，匹配网络可以在实现快速匹配的同时确保具有良好的工艺效果。 | ||
| 搜索关键词： | 匹配 网络 阻抗 配器 以及 阻抗匹配 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810974543.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
