[发明专利]一种垂向运动机构及光刻设备

摘要

本发明属于光刻技术领域，具体公开了一种垂向运动机构及光刻机。本发明公开的垂向运动机构包括：驱动装置，包括竖直设置的运动件，运动件的下端连接有掩模吸盘，掩模吸盘用于吸附掩模版，运动件能带动掩模版在第一位置和第二位置间进行垂向运动，第一位置被配置为掩模版在掩模台上的交接位置，第二位置被配置成掩模版的垂向运动最高位置；缓冲装置，缓冲装置被配置成当掩模版非期望地下落时，缓冲装置向运动件施加缓冲力，以防止所述掩模版刚性冲击所述掩模台。本发明还提供了一种光刻设备，包含上述的垂向运动机构。本发明提供的垂向运动机构和光刻设备，安全性高，运行可靠性好。