[发明专利]在垂直腔表面发射激光器中控制光束发散度在审

专利信息
申请号: 201810980031.6 申请日: 2018-08-27
公开(公告)号: CN109428263A 公开(公告)日: 2019-03-05
发明(设计)人: A.袁;A.V.巴夫;赵国为;E.R.赫格布洛姆 申请(专利权)人: 朗美通经营有限责任公司
主分类号: H01S5/183 分类号: H01S5/183
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 贺紫秋
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 在一些实施方式中,垂直腔表面发射激光器(VCSEL)包括基体层和在基体层上的外延层。外延层可以包括活性层、第一反射镜、第二反射镜和一个或多个氧化层。活性层可以在第一反射镜和第二反射镜之间,且一个或多个氧化层可以靠近活性层。一个或多个氧化层可以配置为基于以下中的至少一个控制所发出激光束的光束发散度:一个或多个氧化层的量,一个或多个氧化层的形状,一个或多个氧化层的厚度,或一个或多个氧化层与活性层的接近程度。
搜索关键词: 氧化层 反射镜 活性层 垂直腔表面发射激光器 基体层 外延层 光束发散度 控制光束 发散度 激光束 配置
【主权项】:
1.一种垂直腔表面发射激光器(VCSEL),包括:基体层;和在基体层上的外延层,外延层包括活性层、第一反射镜、第二反射镜和一个或多个氧化层,其中活性层在第一反射镜和第二反射镜之间,其中一个或多个氧化层靠近活性层,且其中一个或多个氧化层配置为基于以下中的至少一个控制通过VCSEL发出的激光束的光束发散度:一个或多个氧化层的量,一个或多个氧化层的形状,一个或多个氧化层的厚度,或一个或多个氧化层与活性层的接近程度。
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