[发明专利]一种可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔

摘要

本发明公开了一种可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔，通过实际测量激光晶体的等效热透镜焦距，选择合适的热补偿负透镜的凸面曲率半径对激光晶体的热透镜效应进行补偿；利用高斯光束传输的客观规律，计算激光谐振腔的G参数，合理布置激光谐振腔内三重等效扩束镜，对腔内激光进行三重扩束；腔内插入一定角度的平行平面透镜，以消除色差、压窄激光谐振腔内振荡光的线宽；在等效三重扩束镜大光斑位置插入腔内三倍频系统，获得了紫外激光的大光斑输出，提高了紫外激光器的使用寿命，解决了高功率紫外激光器输出功率衰减过快的问题。

主权项

1.一种可用于紫外激光器的多重扩束谐振腔，其特征在于，包括第一半导体激光泵浦源组件、第一激光晶体、第一热补偿负透镜、第二半导体激光泵浦源组件、第二激光晶体、第二热补偿负透镜、第三半导体激光泵浦源组件、第三激光晶体、第三热补偿负透镜、腔内三倍频系统；所述第一半导体激光泵浦源组件用于对第一激光晶体泵浦，第一热补偿负透镜用于对第一激光晶体的等效热透镜效应进行补偿，且受到泵浦后的第一激光晶体与第一热补偿负透镜构成第一重扩束镜；所述第二半导体激光泵浦源组件用于对第二激光晶体泵浦，第二热补偿负透镜用于对第二激光晶体的等效热透镜效应进行补偿，且受到泵浦后的第二激光晶体与第二热补偿负透镜构成第二重扩束镜；第三半导体激光泵浦源组件用于对第三激光晶体泵浦，第三热补偿负透镜用于对第三激光晶体的等效热透镜效应进行补偿，且受到泵浦后的第三激光晶体与第三热补偿负透镜构成第三重扩束镜；所述第一重扩束镜、第二重扩束镜、第三重扩束镜用于依次放大光斑；所述第一半导体激光泵浦源组件与第三半导体激光泵浦源组件相邻布置，第一半导体激光泵浦源组件的泵浦光路与第二半导体激光泵浦源组件的泵浦光路形成第一夹角，第二半导体激光泵浦源组件的泵浦光路与第三半导体激光泵浦源组件的泵浦光路形成第二夹角；所述腔内三倍频系统布置于三重扩束镜的大光斑位置。