[发明专利]一种高精度外直角测量的方法在审
| 申请号： | 201810982746.5 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN108955580A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 刘祺;何芸;李祝;段会宗;覃璇;叶贤基 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01C15/12 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高精度外直角测量的方法，包括以下步骤：通过两台光轴相互垂直的自准直仪搭建光路，得到出射光和被反射之后接收到的光之间的偏角，该偏角被分离成X方向和Y方向两个方向上的分量；利用干涉仪测量空心直角棱镜的直角精度，进行标准的标定；在X方向和Y方向两个维度上分别调节两自准直仪，令自准直仪读数的X和Y两个维度上均显示为零，固定自准直仪；用待测光学元件取代标定用的空心直角棱镜，摆放在两自准直仪光轴相交的位置进行测量。本发明提供的一种高精度外直角测量的方法，利用两台高精度的自准直搭建光路，辅助以一个静密的多维调节机构，用激光干涉仪的测量作为标定的标准，实现对待测元件的外直角的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 自准直仪 直角测量 标定 空心直角棱镜 光路 光轴 偏角 维度 测量 干涉仪测量 高精度测量 多维调节 光学元件 激光干涉 出射光 垂直的 自准直 反射 相交 | ||
【主权项】：
1.一种高精度外直角测量的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：通过两台光轴相互垂直的自准直仪搭建光路，得到出射光和被反射之后接收到的光之间的偏角，该偏角被分离成X方向和Y方向两个方向上的分量；S2：利用干涉仪测量空心直角棱镜的直角精度，进行标准的标定；S3：在X方向和Y方向两个维度上分别调节两自准直仪，令两台自准直仪读数的X和Y两个维度上均显示为零，固定自准直仪；S4：用待测光学元件取代标定用的空心直角棱镜，摆放在两自准直仪光轴相交的位置进行测量。
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