[发明专利]用于高压的具有薄膜的微机电换能器、其制造方法和包括微机电换能器的系统

摘要

微机电换能器包括半导体主体、埋置在半导体主体内的四个腔、和四个膜，每个膜悬置于相应的腔之上，并且能够通过微机电换能器外部的压力的作用而被偏斜；微机电换能器进一步包括四个换能器元件，四个换能器元件由相应的膜容纳，并且在惠斯通电桥配置中互相电耦合，以将所述外部压力转换为电信号。

主权项

1.一种微机电换能器，包括：单片半导体主体；第一腔、第二腔、第三腔和第四腔，所述第一腔、所述第二腔、所述第三腔和所述第四腔被埋置在所述半导体主体内；第一膜、第二膜、第三膜和第四膜，所述第一膜、所述第二膜、所述第三膜和所述第四膜分别覆盖所述第一腔、所述第二腔、所述第三腔和所述第四腔，并且形成所述半导体主体的表面的一部分，所述第一膜、所述第二膜、所述第三膜和所述第四膜被配置为响应于作用在所述半导体主体的所述表面上的外部压力而偏斜；以及第一换能器元件、第二换能器元件、第三换能器元件和第四换能器元件，所述第一换能器元件、所述第二换能器元件、所述第三换能器元件和所述第四换能器元件分别至少部分地在所述第一膜、所述第二膜、所述第三膜和所述第四膜中，并且在惠斯通电桥配置中互相电耦合，以将所述外部压力转换为电信号。