[发明专利]颗粒去除尖及利用其的指针型颗粒去除装置在审
申请号: | 201810984780.6 | 申请日: | 2018-08-28 |
公开(公告)号: | CN110634763A | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 崔容吉;朴柱赫;孙泰竣;林正勋;崔文燮 | 申请(专利权)人: | 罗普伺达机器人有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 11384 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 郑青松 |
地址: | 韩国京畿道*** | 国省代码: | 韩国;KR |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及颗粒去除尖及设置有其的指针型颗粒去除装置,本发明包括:托盘输送单元、盘放置台、粘结液供给单元、指针部件、倒装单元、指针驱动单元、粘结凝胶去除部件和摆臂单元。本发明可以有效去除附着于器件(芯片)的颗粒,而且使部件的损失最小化,本发明结构简单且能提高作业效率。 | ||
搜索关键词: | 去除 颗粒去除装置 托盘输送单元 指针驱动单元 摆臂单元 供给单元 颗粒去除 指针部件 作业效率 放置台 粘结液 最小化 倒装 凝胶 粘结 附着 芯片 指针 | ||
【主权项】:
1.一种指针型颗粒去除装置,其特征在于,包括:/n托盘输送单元,将排列有多个器件的器件盘输送到作业位置;/n盘放置台,用于放置排列有多个颗粒去除尖的尖盘;/n粘结液供给单元,用于分配粘结液;/n指针部件,在虚拟圆上隔着规定间隔设置有多个放置孔,且以中心轴为基准进行旋转;/n倒装单元,用于拾取放置在上述盘放置台的尖盘的颗粒去除尖并通过进行旋转来使粘结液从上述粘结液供给单元分配到颗粒去除尖,之后通过旋转来放置在上述指针部件的放置孔;/n指针驱动单元,在使放置在上述指针部件的放置孔的颗粒去除尖向拾取位置移动的同时使指针部件旋转,以使上述颗粒去除尖的粘结液固化;/n粘结凝胶去除部件,用于去除使得上述颗粒去除尖的粘结液被固化的粘结凝胶;/n摆臂单元,在拾取位置拾取上述指针部件的颗粒去除尖,并通过移动来利用颗粒去除尖的粘结凝胶去除位于作业位置的粘结于器件盘的器件的颗粒,从上述粘结凝胶去除单元去除掉颗粒去除尖的颗粒的粘结凝胶,从而将已去除粘结凝胶的颗粒去除尖放置在上述指针部件的放置孔。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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