[发明专利]一种双氧化孔径的高功率高速垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 201810986051.4 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109038215A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 罗玉辉;陈柱元 | 申请（专利权）人： | 深亮智能技术（中山）有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/34 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 王洪娟;冼俊鹏 |
| 地址： | 528400 广东省中山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双氧化孔径的高功率高速垂直腔面发射激光器，包括依次层叠设置的顶电极、保护层、P型反射镜、第一氧化层、第一包层、多量子阱结构层、第二包层、第二氧化层、N型反射镜、衬底和底电极；所述的第一包层、多量子阱结构层和第二包层组成VCSEL结构；所述的VCSEL结构中部设有谐振腔，所述的第一氧化层在谐振腔对应位置设有第一氧化孔径，所述的第二氧化层在谐振腔对应位置设有第二氧化孔径，所述第一氧化孔径和第二氧化孔径法线重合。优点在于，具有增加输出功率，工作温度范围，可实现的波长范围，以及红色波长区域中的VCSEL的可靠性，以及更长的波长区域。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化孔径 氧化层 包层 谐振腔 垂直腔面发射激光器 多量子阱结构层 反射镜 高功率 法线 红色波长区域 增加输出功率 波长区域 依次层叠 保护层 底电极 顶电极 波长 重合 衬底 | ||
【主权项】：
1.一种双氧化孔径的高功率高速垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括依次层叠设置的顶电极(131)、保护层(132)、P型反射镜(141)、第一氧化层(143)、第一包层(147)、多量子阱结构层(149)、第二包层(148)、第二氧化层(144)、N型反射镜(142)、衬底(110)和底电极(133)；所述的第一包层(147)、多量子阱结构层(149)和第二包层(148)组成VCSEL结构(140)；所述的VCSEL结构(140)中部设有谐振腔(120)，所述的第一氧化层(143)在谐振腔(120)对应位置设有第一氧化孔径(145)，所述的第二氧化层(144)在谐振腔(120)对应位置设有第二氧化孔径(146)，所述第一氧化孔径(145)和第二氧化孔径(146)法线重合。
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