[发明专利]物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性计测单元有效
| 申请号： | 201810986948.7 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109425334B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663;G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性计测单元，使检测灵敏度和可靠性提高。物理量传感器(100)包括：可动体(20)，呈平板状，在贯穿该平板状的平板面(28)的方向上具有多个开口(26)，能够以转动轴为中心摆动；支承基板(10)，通过支柱(14)与平板面(28)的一部分连结而成，使得隔开间隔地支承可动体的平板面；以及突起(15)，在沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，在支承基板(10)的与可动体(20)隔开间隔而重叠的区域，向可动体一侧突出设置，在沿着与平板面垂直的方向观察支承基板时，当设突起的最大外形尺寸为D时，开口(26)设置于除从突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 及其 制造 方法 复合 惯性 单元 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：可动体，呈平板状，在贯穿所述平板状的平板面的方向上具有多个开口，所述可动体能够以转动轴为中心摆动；支承基板，通过支柱与所述平板面的一部分连结而成，使得所述支承基板隔开间隔地支承所述可动体的所述平板面；以及突起，在沿着与所述平板面垂直的方向观察所述支承基板时，所述突起在所述支承基板的与所述可动体隔开间隔而重叠的区域，向所述可动体一侧突出设置，在沿着与所述平板面垂直的方向观察所述支承基板时，当设所述突起的最大外形尺寸为D时，所述开口设置于除从所述突起的外周向外侧D/2的范围以外的区域。
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