[发明专利]显示面板及其制造方法

摘要

本发明提供一种显示面板及其制造方法，所述显示面板的制造方法包含步骤：提供基板；形成栅极在所述基板上；形成栅极绝缘层在所述栅极及所述基板上；形成多晶硅层在所述栅极绝缘层上；对所述多晶硅层进行第一灰阶掩膜工艺，以形成所述多晶硅层的源极区、漏极区以及位在所述源极区及所述漏极区之间的有源区；形成层间介电层在所述栅极绝缘层及所述多晶硅层上；形成第一电极层在所述层间介电层上；以及对所述第一电极层及所述层间介电层进行第二灰阶掩膜工艺，其中包含：图案化所述第一电极层以形成第一电极图案层；及在所述层间介电层内形成源极穿孔与漏极穿孔，其中所述源极穿孔暴露所述源极区及所述漏极穿孔暴露所述漏极区。

主权项

1.一种显示面板的制造方法，其特征在于：所述显示面板的制造方法包含步骤：提供一基板；形成一栅极在所述基板上；形成一栅极绝缘层在所述栅极及所述基板上；形成一多晶硅层在所述栅极绝缘层上；对所述多晶硅层进行一第一灰阶掩膜工艺，以形成所述多晶硅层的一源极区、一漏极区以及位在所述源极区及所述漏极区之间的一有源区；形成一层间介电层在所述栅极绝缘层及所述多晶硅层上；形成一第一电极层在所述层间介电层上；以及对所述第一电极层及所述层间介电层进行一第二灰阶掩膜工艺，其中包含：图案化所述第一电极层以形成一第一电极图案层；及在所述层间介电层内形成一源极穿孔与一漏极穿孔，其中所述源极穿孔暴露所述源极区及所述漏极穿孔暴露所述漏极区。