[发明专利]一种基于Gabor波带片的三波径向剪切干涉仪有效
申请号: | 201810987758.7 | 申请日: | 2018-08-28 |
公开(公告)号: | CN109060149B | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 王忠宇;王帅;杨平;许冰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提出一种基于Gabor波带片的三波径向剪切干涉仪,由一个Gabor波带片和一个图像探测器组成,Gabor波带片是一种透过率连续变化的振幅波带片。待测光束入射到Gabor波带片,经过波带片的衍射,形成三束光,一束是透射光,一束是会聚光,一束是发散光,三束光传播一段距离后(此距离小于Gabor波带片的焦距),发生三波径向剪切干涉,形成干涉条纹,并被图像探测器记录。根据Gabor波带片的透射率函数和光束传播公式,可以得到干涉图的解析表达式,据此可以从干涉图中提取径向剪切相位差,复原待测波前畸变信息。本发明仅使用一个Gabor波带片和一个图像探测器即可实现波前测量,结构简单、系统稳定、无需参考光。在光学检测、自适应光学等领域具有独特优势。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 gabor 波带片 径向 剪切 干涉仪 | ||
【主权项】:
1.一种基于Gabor波带片的三波径向剪切干涉仪,其特征在于:所述的干涉仪由一个Gabor波带片和一个图像探测器组成;待测光束经过Gabor波带片产生三个衍射级次,分别是透射光、会聚光、发散光,传播一段距离后,此距离小于Gabor波带片的焦距,发生三波径向剪切干涉,形成干涉条纹,并被图像探测器记录;在干涉平面,由于三束光的孔径不同,会聚光包含了径向缩小的待测波前信息,发散光包含了径向扩大的待测波前信息,所以在干涉图中包含了径向剪切的相位信息;利用相位提取算法即可从干涉图中提取径向剪切相位,并结合波前复原算法重构待测光束的相位信息;此径向剪切干涉仪的径向剪切比可调,并且调整方便,只需改变图像探测器到Gabor波带片的距离z,其中径向剪切比s=(f‑z)/(f+z),f是Gabor波带片的焦距;所使用的Gabor波带片是一个振幅波带片,正余弦型Gabor波带片的复振幅透过率函数为:
其中,r是极坐标系的径向变量,d是一个常数,且d=f×λ,其中f是波带片的焦距,λ是待测光束的波长;设被测光复振幅为:Ui(r,θ)=Ai(r,θ)exp[jkW(r,θ)] (2)其中,θ是极坐标系的角向变量,Ai(r,θ)是待测光束的振幅,W(r,θ)是待测光束的波前,j是虚数单位,k=2π/λ是波矢,经过Gabor波带片后,产生三个衍射光束,它们的复振幅变成如下形式:
传播一段距离z后,在图像探测器接收靶面复振幅表达式是:
其中,α=f/(f‑z),是缩小波前的坐标变换系数,β=f/(f+z),是扩大波前的坐标变换系数,Az0(r,θ,z)/2是透射光的振幅分布,Az1(r,θ,z)/4是会聚光的振幅分布,Az2(r,θ,z)/4是发散光的振幅分布,进而得到图像探测器接收的干涉图表达式是:
其中
是Uz(r,θ,z)的复共轭。
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