[发明专利]一种基于环带相位及位姿信息的非球面矢高重建方法有效
申请号: | 201810990113.9 | 申请日: | 2018-08-28 |
公开(公告)号: | CN109238657B | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 马骏;谢建康;高志山;苗新宇;魏聪;张天宇 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01B9/02 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 朱沉雁 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种基于环带相位及位姿信息的非球面矢高重建方法,通过划分非球面镜的轴向移动路径,轴向移动非球面镜,获得每一步非球面镜的四步移相干涉图,对干涉图进行预处理,解包裹,用正割迭代法提取干涉图的零位环带,恢复每一步零位区域非球面镜的零位位置曲率半径,进行零位曲率半径矫正,恢复局部环域矢高,进行矢高连接,最终获得待测非球面镜的整个矢高信息。本发明能够获得待测非球面镜的矢高,从而恢复待测非球面镜的三维形貌。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 环带 相位 信息 球面 重建 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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