[发明专利]成膜载具以及太阳能电池的制作方法

摘要

本申请涉及一种用于承载待处理基片，成膜载具包括至少一个承载层，承载层包括载台以及限位框，载台用于与基片的一面贴合，限位框由载台贴合基片的一侧凸起，同一承载层的载台与限位框围设成至少一个基片容置空间，基片容置空间用于容置基片。膜载具通过设置载台以及限位框而形成了基片容置空间。太阳能电池制作过程中，将基片的第一面与载台贴合。进而可在基片的与第一面相背的第二面上沉积形成硅薄膜层时，有效防止硅薄膜层绕镀到基片的第一面；或者，可在基片的与第一面相背的第二面上进行扩散掺杂时，有效防止基片的第一面也被扩散掺杂。因此，本申请提供的成膜载具以及太阳能电池的制作方法可以有效提高太阳能电池的性能。

主权项

1.一种成膜载具，用于承载待处理基片，其特征在于，所述成膜载具包括至少一个承载层，所述承载层包括载台以及限位框，所述载台用于与所述基片的一面贴合，所述限位框由所述载台贴合所述基片的一侧凸起，同一所述承载层的所述载台与所述限位框围设成至少一个基片容置空间，所述基片容置空间用于容置所述基片。