[发明专利]一种用于薄金属的高温薄膜沉积的加热装置

摘要

本发明属于薄膜制备技术领域，具体为一种用于薄金属的高温薄膜沉积的加热装置。本发明重新设计了电极组单元；金属基带经过N个特殊设定的导电金属棒，被其支撑并与其良好接触，且导电金属棒不随金属基带的移动而滚动。导电金属棒与金属基带成线性接触导电，并对金属基带起支撑作用使其不发生形变，避免产生打火现象，保证了薄膜的后期应用。本发明适用于不同宽度厚度的单面金属基带的加热；并且升温速率高，温度分布均匀，能效高，同时可实现多层薄膜的连续制备。这些优势对于薄膜的工业化制备尤为重要，可以提高制备薄膜的质量，并降低成本。

主权项

1.一种用于薄金属的高温薄膜沉积的加热装置，包括安装在真空腔体中的正负电极组单元、薄膜生长区、外接电流源和两个卷绕盘，其特征在于：待镀膜的金属基带从一个卷绕盘上牵引至一个电极组单元，经过薄膜生长区镀膜后，牵引至另一个电极组单元上，最终盘绕在另一个卷绕盘上，外接电源提供电极组单元的加热电流；所述电极组单元由两个转动轮、导电金属棒、导电金属棒固定装置和支撑架组成，对金属基带进行加热；其加热方式的机理是：加热电流通过导电金属棒从基带与其接触处导入到金属基带内部，并在位于薄膜沉积区中的金属基带上流动，因基带自身电阻产生的焦耳热达到薄膜生长所需的温度，同时通过另一相同结构的电极组流出，形成一个完整的电流通路；所述转动轮表面光滑，与金属基带之间没有相对摩擦，轴心绝缘，用于支撑金属基带，一个与卷绕盘构成金属基带的通道，另一个分别与导电金属棒和薄膜生长区构成金属基带的通道；其在支撑架上位置可调，以实现金属基带与导电金属棒间的接触力调整；所述导电金属棒与外接电源连接，支撑稳固金属基带，并与转动轮之间构成金属基带的通道；N个导电金属棒平行等距的固定在导电金属棒固定装置上，且导电金属棒的同侧端面在导电金属棒固定装置上处于同一弧线上，导电金属棒与导电金属棒固定装置之间绝缘，N≥5；每根导电金属棒与外部连接一个电阻单元构成一个电极单元，各电极单元通过电流分配电路形成电连接，电流分配电路为串联电阻；工作时，金属基带与N个导电金属棒构成的弧面直接贴合接触，导电金属棒不随金属基带的移动而滚动；所述支撑架用于安装导电金属棒固定装置和两个转动轮，且支撑架与导电金属棒和转动轮相互之间均绝缘。