[发明专利]可压缩介质涂敷器、涂敷系统及其方法在审

专利信息
申请号: 201810995433.3 申请日: 2018-08-29
公开(公告)号: CN109569979A 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: K·P·哈肯贝格;N·R·拉拉维卡;J·C·小马塔亚巴斯;E·诺芬;N·阿南坦克里希南;M·中加瓦赛;Y·富田 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: B05C17/06 分类号: B05C17/06;B05C11/11;B05C11/10;B05D1/32
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 韩宏;陈松涛
地址: 美国加*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种流体涂敷器,被配置为将流体涂敷到至少一个衬底特征。流体涂敷器包括:可压缩的网状介质,包括输入界面,被配置用于与流体贮存器耦接,及衬底界面,具有对应于至少一个衬底特征的特征轮廓的涂敷器轮廓。网状物从输入界面延伸到衬底界面,并且网状物分布在整个涂敷器轮廓上。可压缩网状介质包括填充配置和分配配置。在分配配置中,衬底界面被配置用于与至少一个衬底特征接合,压缩可压缩网状介质,并且根据压缩,将流体涂敷在整个特征轮廓上。在填充配置中,可压缩网状介质被配置用于相对于分配配置膨胀,并且流体根据膨胀渗透网状物。
搜索关键词: 衬底 配置 网状介质 可压缩 涂敷器 网状物 流体 流体涂敷器 输入界面 特征轮廓 涂敷 填充 分配 膨胀 可压缩介质 流体贮存器 涂敷系统 接合 压缩 耦接 延伸
【主权项】:
1.一种流体涂敷器,被配置为将流体涂敷到衬底的至少一个衬底特征,所述流体涂敷器包括:可压缩的网状介质,被配置用于将所述流体涂敷到所述至少一个衬底特征,所述可压缩网状介质包括:输入界面,被配置用于与流体贮存器耦接,衬底界面,所述衬底界面具有对应于所述至少一个衬底特征的特征轮廓的涂敷器轮廓,以及网状物,从所述输入界面延伸到所述衬底界面,所述网状物分布在整个所述涂敷器轮廓上;并且所述可压缩网状介质包括填充配置和分配配置:在所述分配配置中,所述衬底界面被配置用于与所述至少一个衬底特征接合,压缩所述可压缩网状介质,并且根据所述压缩,通过分布在整个涂敷器轮廓上的网状物将流体涂敷在整个所述特征轮廓上,以及在所述填充配置中,所述可压缩网状介质被配置用于相对于所述分配配置膨胀,并且所述流体根据所述膨胀渗透所述网状物。
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