[发明专利]气体传感器及具备其的气体传感器组件在审
申请号: | 201810995944.5 | 申请日: | 2018-08-29 |
公开(公告)号: | CN109425641A | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | 安范模;朴胜浩;边圣铉 | 申请(专利权)人: | 普因特工程有限公司 |
主分类号: | G01N27/14 | 分类号: | G01N27/14 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 汪丽红 |
地址: | 韩国忠淸南道*** | 国省代码: | 韩国;KR |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种通过感测膜测定气体浓度的气体传感器及具备其的气体传感器组件,尤其涉及一种通过确保气体传感器的高热效率及均匀的热传递,即便以低功耗也可充分地加热气体传感器且精确地测定气体浓度的气体传感器及具备其的气体传感器组件。 | ||
搜索关键词: | 气体传感器 气体传感器组件 高热效率 低功耗 感测膜 热传递 加热 | ||
【主权项】:
1.一种气体传感器,其特征在于,包括:基板,形成有上下贯通的贯通孔;传感器电极,形成在所述基板的上部,具备覆盖所述贯通孔的至少一部分的感测部;加热器电极,形成在所述基板的上部,具备位于所述感测部的上部的加热部;以及钝化层,具备介置在所述感测部与所述加热部之间而使所述感测部与所述加热部绝缘的绝缘部。
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