[发明专利]一种MPCVD合成设备微波反射调节装置及控制方法有效
| 申请号： | 201810999633.6 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN109092226B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 黄翀;唐跃强 | 申请（专利权）人： | 长沙新材料产业研究院有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/12 | 分类号： | B01J19/12 |
| 代理公司： | 武汉智汇为专利代理事务所(普通合伙) 42235 | 代理人： | 李恭渝 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种适用于MPCVD合成设备的自动化微波反射调节装置，包括微波电源、微波发生装置、微波传输导向器件、反射微波测量吸收器件、中段调节器件、模式转换器、末段调节器件，以及控制中心。所述微波发生装置与微波电源相连，接受微波电源的输出功率控制，微波电源、反射微波测量吸收器件、中段调节器件、末段调节器件和微波电源连接控制中心，并接收控制中心的控制指令，模式转换器用于调节微波传输的方向。克服了现有技术无法及时恰当调节，需要实验人员进行手动调整，不能有效保障磁控管的寿命，不能保证微波的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mpcvd 合成 设备 微波 反射 调节 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种自动化微波反射调节装置，其特征在于包括微波电源、微波发生装置、微波传输导向器件、反射微波测量吸收器件、中段调节器件、模式转换器、末段调节器件，以及控制中心，所述微波发生装置与微波电源相连，接受微波电源的输出功率控制，微波电源、反射微波测量吸收器件、中段调节器件、末段调节器件和微波电源连接控制中心，并接收控制中心的控制指令，模式转换器用于调节微波传输的方向。
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