[发明专利]MOCVD实时在线红外检测系统在审
| 申请号： | 201810999668.X | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110487739A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李健;赖远佳;王钢;裴艳丽;徐艺峰;陈梓敏;费泽元 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504 |
| 代理公司： | 44302 广州圣理华知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顿海舟;李唐明<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 510275 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MOCVD实时在线红外检测系统，包括：反应釜、反应池控制主机、气体池、主机控制软件和主机定量软件；所述反应釜中安装有多个气体管道，所述反应池控制主机上设有探头，所述探头从侧面插入所述气体池内；所述反应釜中的气体组分通过所述气体管道进入所述气体池；所述探头连续对流过所述气体池的气体成分进行跟踪检测，所述主机控制软件实时计算出精确的反应组分数目、生成反应组分浓度变化曲线，以及纯组分三维红外光谱图；所述主机定量软件实时定量的测得反应体系中各种组分的含量和浓度的变化。本发明有效地解决MOCVD反应过程复杂、高温及压力条件下难以取样分析反应的问题，方便科研人员了解关键过程参数，提高过程稳定性和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 气体池 反应釜 探头 控制主机 气体管道 主机控制 反应池 主机 关键过程参数 红外检测系统 浓度变化曲线 过程稳定性 红外光谱图 跟踪检测 取样分析 实时定量 实时计算 实时在线 压力条件 有效地 三维 侧面 科研 | ||
【主权项】：
1.一种MOCVD实时在线红外检测系统，其特征在于：包括反应池控制主机、反应釜、气体池、主机控制软件和主机定量软件；/n所述反应釜中安装有多个气体管道，所述气体管道入口安装有温度传感器，所述气体管道与所述气体池连接，所述气体池与所述反应池控制主机连接；所述反应池控制主机上设有探头，所述探头从侧面插入所述气体池内；/n反应原料进入所述反应釜内后发生反应，产生不同温度梯度的气体组分，所述气体组分通过所述气体管道依次进入所述气体池，所述温度传感器对反应气体进行温度检测，得到进样口的温度数据；/n所述反应池控制主机与所述主机控制软件和主机定量软件进行通讯，所述反应池控制主机通过主机控制软件控制所述探头连续对流过所述气体池的气体成分进行跟踪检测，所述主机控制软件结合所述温度传感器所述检测到的温度数据，实时计算出在不同温度范围内的精确的反应组分数目、生成反应组分浓度变化曲线，以及纯组分三维红外光谱图；所述主机定量软件实时定量的测得反应体系中各种组分的含量和浓度的变化。/n
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