[发明专利]一种磁场可调的磁棒在审
申请号: | 201810999945.7 | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN108866499A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 匡国庆 | 申请(专利权)人: | 镇江市德利克真空设备科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 镇江基德专利代理事务所(普通合伙) 32306 | 代理人: | 马振华 |
地址: | 212216 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种磁场可调的磁棒,包括磁棒体,所述的磁棒体上部沿轴向设有贯穿磁棒体两端的凹槽,凹槽内装有磁铁座,所述的磁棒体下部设置有导套座,所述的磁铁座与导套座之间通过多个导柱进行连接,所述的导柱上端与磁铁座螺纹相连,导柱下端伸入导套座上的导套内实现导柱与导套座连接,所述的导柱下端与导套底部之间还设置有若干个垫片,可通过加减垫片的方式改变磁铁座的上下位置,进而提升镀膜的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 磁棒 导柱 磁铁座 导套座 磁场可调 导套 垫片 下端 上下位置 均匀性 上端 镀膜 加减 螺纹 伸入 轴向 贯穿 | ||
【主权项】:
1.一种磁场可调的磁棒,其特征在于,包括磁棒体,所述的磁棒体上部沿轴向设有贯穿磁棒体两端的凹槽,凹槽内装有磁铁座,所述的磁棒体下部设置有导套座,所述的磁铁座与导套座之间通过多个导柱进行连接,所述的导柱上端与磁铁座螺纹相连,导柱下端伸入导套座上的导套内实现导柱与导套座连接,所述的导柱下端与导套底部之间还设置有若干个垫片。
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