[发明专利]一种新型的阴极平台在审
| 申请号： | 201811000073.5 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN108866500A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 匡国庆 | 申请（专利权）人： | 镇江市德利克真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 镇江基德专利代理事务所(普通合伙) 32306 | 代理人： | 马振华 |
| 地址： | 212216 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型的阴极平台，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；所述底座的下表面设有第一液冷管；所述的供气装置包括固定在底座上的供气装置主体和设置在供气装置主体两侧的左、右挡板，所述供气装置主体与左、右挡板之间设有第二液冷管，所述的第二液冷管呈环形环绕在供气装置主体的侧面。该装置设有多个液冷部件，可同时给底座及供气装置进行冷却处理。 | ||
| 搜索关键词： | 供气装置 底座 液冷管 阴极 右挡板 对称设置 环形环绕 冷却处理 主体两侧 下表面 阴极体 液冷 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种新型的阴极平台，其特征在于，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；所述的供气装置包括固定在底座上的供气装置主体和设置在供气装置主体两侧的左、右挡板，所述供气装置主体与左、右挡板之间设有第二液冷管，所述的第二液冷管呈环形环绕在供气装置主体和左、右挡板之间。
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