[发明专利]用于确定工艺参数的方法和装置

摘要

本发明涉及用于确定工艺参数的方法和装置。提供了一种使用至少一个基于时间轨迹的预测模型来处理在处理室中的衬底的方法。对衬底进行干法处理，其中干法处理产生至少一种气体副产物。测量至少一种气体副产物的浓度。确定至少一种气体副产物的浓度的时间轨迹。确定的浓度的时间轨迹被提供作为用于至少一个基于时间轨迹的预测模型的输入，以获得至少一个工艺输出。至少一个工艺输出用于调整至少一个工艺参数。

主权项

1.一种使用至少一种基于时间轨迹的预测模型处理在处理室中的衬底的方法，其包括：干法处理衬底，其中所述干法处理产生至少一种气体副产物；测量所述至少一种气体副产物的浓度；获得所述至少一种气体副产物的所述浓度的时间轨迹；提供所述浓度的所获得的所述时间轨迹作为所述至少一个基于时间轨迹的预测模型的输入，以获得至少一个工艺输出；以及使用所述至少一个工艺输出来调整至少一个工艺参数。