[发明专利]具有微粒检测模块的行动装置有效

专利信息
申请号: 201811002165.7 申请日: 2018-08-30
公开(公告)号: CN110873681B 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 莫皓然;林景松;陈世昌;廖家淯;廖鸿信;黄启峰;韩永隆;陈宣恺;郭俊毅 申请(专利权)人: 研能科技股份有限公司
主分类号: G01N15/02 分类号: G01N15/02;G01N15/06
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 聂慧荃;郑特强
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种具有微粒检测模块的行动装置,包括:基座,本体,具有进气口;微粒检测模块,设置于本体内,对接连通进气口,包含:基座,内部具有检测通道及光束通道;检测部件,设置于基座内,并包含激光器及微粒传感器,激光器发射光束投射于光束通道中,微粒传感器对应设置到检测通道与光束通道正交位置;微型泵,承载于基座中,并覆盖导气凹槽;其中微型泵受驱动吸引、引导基座外部的气体快速导入检测通道中,气体通过检测通道与光束通道正交位置,受激光器照射而投射光点至微粒传感器,并由微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒大小及浓度。
搜索关键词: 具有 微粒 检测 模块 行动 装置
【主权项】:
暂无信息
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