[发明专利]穿隧式场效晶体管在审
申请号: | 201811002450.9 | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN109860282A | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 瑞姆瓦尔·彼德;麦特西亚斯帕斯拉克;吉尔本·朵尔伯斯 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/205;H01L21/331;H01L29/417;B82Y10/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种穿隧式场效晶体管包含第一源极/漏极层、第二源极/漏极层以及半导体中间层。第一源极/漏极层包含第一极性侧壁。第二源极/漏极层围绕第一源极/漏极层,第二源极/漏极层与第一源极/漏极层具相反导电类型,半导体中间层位于第二源极/漏极层与第一源极/漏极层的第一极性侧壁之间。 | ||
搜索关键词: | 源极/漏极 场效晶体管 中间层 侧壁 穿隧 半导体 相反导电类型 | ||
【主权项】:
1.一种穿隧式场效晶体管,其特征在于,包含:一第一源极/漏极层,包含一第一极性侧壁;一第二源极/漏极层,环绕该第一源极/漏极层,其中该第二源极/漏极层与该第一源极/漏极层具相反导电类型;以及一半导体中间层,位于该第二源极/漏极层与该第一源极/漏极层的该第一极性侧壁之间。
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