[发明专利]大尺寸蓝宝石基底多光谱硬质增透膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201811002466.X | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN109182972B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 姚细林;王航;杨放 | 申请（专利权）人： | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团有限公司第七一七研究所） |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/10;C23C14/22;C23C14/24;C23C14/02;C23C14/58;G02B1/115;G02B1/14 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 许美红;刘洋 |
| 地址： | 430223 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明公开了及一种大尺寸蓝宝石基底多光谱硬质增透膜及其制备方法。由下至上依次为蓝宝石基片、应力匹配层、氧化物材质多层增透膜系和硬质耐磨保护层；所述氧化物材质多层增透膜系由高/低折射率材料交替镀制而成，且采用离子束辅助沉积。高折射率材料选用Ti |
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| 搜索关键词： | 尺寸 蓝宝石 基底 光谱 硬质 增透膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.大尺寸蓝宝石基底多光谱硬质增透膜，其特征在于由下至上依次为蓝宝石基片、应力匹配层、氧化物材质多层增透膜系和硬质耐磨保护层；其中，所述氧化物材质多层增透膜系由高/低折射率材料交替镀制而成，且采用离子束辅助沉积。
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