[发明专利]光罩

摘要

本公开部分实施例提供一种适用于搜集用于影像错误补偿的信息的光罩。上述光罩包括一基板。上述光罩还包括形成于基板上的一第一黑色边界结构以及一第二黑色边界结构。第一黑色边界结构以及第二黑色边界结构对基板的一中心同心分布。上述光罩也包括形成于基板上方的一第一图像结构以及一第二图像结构。第一图像结构以及第二图像结构各自代表着待图案化至一半导体晶圆的多个特征的图案。第二图像结构、第二黑色边界结构、第一图像结构及第一黑色边界结构在远离基板的中心的一方向上按序排列。

主权项

1.一种光罩，适用于搜集用于影像错误补偿的信息，包括：一基板；一第一黑色边界结构以及一第二黑色边界结构，形成于该基板上，其中该第一黑色边界结构以及该第二黑色边界结构对该基板的一中心同心分布；以及一第一图像结构以及一第二图像结构，形成于该基板的上方，并且该第一图像结构以及该第二图像结构各自代表着待图案化至一半导体晶圆的多个特征的多个图案；其中该第二图像结构、该第二黑色边界结构、该第一图像结构及该第一黑色边界结构在远离该基板的该中心的一方向上按序排列。