[发明专利]一种薄膜太阳能电池的制备方法及其制备装置

摘要

本发明涉及一种薄膜太阳能电池的制备方法及其制备装置。该制备方法包括在薄膜太阳能电池的窗口层表面利用电化学沉积法制备纳米结构阵列层。该制备装置包括储液池，储液池内存储有电解液；电池传递装置，用于将薄膜太阳能电池以窗口层朝下并浸润在电解液中的状态下以预定的速度穿过储液池；电化学工作站，电化学工作站位于储液池的上方。本发明通过卷对卷式电化学沉积工艺在薄膜太阳能电池的窗口层制备纳米结构阵列，利用亚波长尺寸的纳米结构形成蛾眼效应，在窗口层和空气界面形成渐变折射率，有效抑制电池表面入射光的反射，增大光吸收，提高薄膜太阳能电池的光电转换效率；同时卷对卷式的工艺流程可以直接整合到现有产线中，实现在线连续生产。