[发明专利]光学反射镜、光学反射镜系统及曝光机在审
| 申请号： | 201811005868.5 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN108983414A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 向琛;陈轶;徐钟国 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 胡萌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光学反射镜、光学反射镜系统及曝光机，涉及光学反射镜技术领域，以解决如何调节光学反射镜表面曲率的问题。其中，所述光学反射镜包括：基座；安装于所述基座上的磁致伸缩位移计阵列，所述磁致伸缩位移计能够在电流的控制下发生伸缩运动；设置于所述磁致伸缩位移计阵列上的柔性光学反射镜。本发明提供的光学反射镜用于调节光学反射镜表面曲率，从而使经光学反射镜反射后的光线符合实际需求。 | ||
| 搜索关键词： | 光学反射镜 磁致伸缩 位移计 光学反射镜系统 表面曲率 曝光机 柔性光学 伸缩运动 实际需求 反射镜 反射 | ||
【主权项】：
1.一种光学反射镜，其特征在于，所述光学反射镜包括：基座；安装于所述基座上的磁致伸缩位移计阵列，所述磁致伸缩位移计能够在电压或电流的控制下发生伸缩运动；设置于所述磁致伸缩位移计阵列上的柔性光学反射镜。
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