[发明专利]成膜装置、成膜方法以及有机EL显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201811006629.1 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109837507B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 石井博;柏仓一史 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘日华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种成膜装置，用于经由掩模在基板上进行成膜，其中，包括基板保持单元以及静电吸盘，所述基板保持单元包括用于支承基板的周缘部的支承部；所述静电吸盘设置于所述支承部的上方，用于吸附基板，所述静电吸盘包括产生电压的电源部、施加所述电压的电极部以及用于控制向所述电极部施加的所述电压的电压控制部，所述电压控制部，在使所述静电吸盘吸附基板时以作为所述电压向所述电极部施加第一电压的方式进行控制，在所述静电吸盘吸附基板之后，在开始蒸镀工序之前，以作为所述电压向所述电极部施加比所述第一电压低的第二电压的方式进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 以及 有机 el 显示装置 制造 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，用于经由掩模在基板上进行成膜，其中，包括基板保持单元以及静电吸盘，所述基板保持单元包括用于支承基板的周缘部的支承部；所述静电吸盘设置于所述支承部的上方，用于吸附基板，所述静电吸盘包括产生电压的电源部、施加所述电压的电极部以及用于控制向所述电极部施加的所述电压的电压控制部，所述电压控制部，在使所述静电吸盘吸附基板时以作为所述电压向所述电极部施加第一电压的方式进行控制，在所述静电吸盘吸附基板之后，在开始蒸镀工序之前，以作为所述电压向所述电极部施加比所述第一电压低的第二电压的方式进行控制。
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