[发明专利]晶圆清洗回收机

摘要

本发明涉及半导体制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗回收机，降低设备故障率，负荷小；提高搅拌效率；添加回收晶圆和清洗液过程较简单；包括筒体、一组第一搅拌叶、第一挡盖、第二挡盖和第一传动轴，进入口处和出料口处分别设置有第一挡盖和第二挡盖，筒体上方设置有电机，第一传动轴下半区域设置有一组第一搅拌叶；还包括工作箱、第一齿轮、第二齿轮和第二传动轴，电机输出端设置有第二传动轴；还包括上齿轮、下齿轮、上链条、下链条、左齿轮、右齿轮、左安装箱、右安装箱、左连接杆、右连接杆和一组第二搅拌叶；还包括挂钩、支撑块、固定销、下压杆、受力环、一组固定板、中心转轴、下连接杆和一组定位挡板。

主权项

1.一种晶圆清洗回收机，包括筒体（1）、一组第一搅拌叶（2）、第一挡盖（3）、第二挡盖（4）和第一传动轴（5），筒体（1）内部设置有清洗腔，筒体（1）左侧壁上半区域和右侧壁下半区域分别设置有旋转口、进入口和出料口，进入口处和出料口处分别设置有第一挡盖（3）和第二挡盖（4），第二挡盖（4）螺装至筒体（1），旋转口、进入口和出料口均与清洗腔连通，筒体（1）上方设置有电机（6），第一传动轴（5）穿过旋转口进入筒体（1）内部，第一传动轴（5）下半区域设置有一组第一搅拌叶（2）；其特征在于，还包括工作箱（7）、第一齿轮（8）、第二齿轮（9）和第二传动轴（10），所述工作箱（7）内部设置有工作腔，所述工作箱（7）顶侧壁左半区域和下侧壁中央区域分别设置有第一连接口和第二连接口，第一连接口和第二连接口均与工作腔连通，所述电机（6）位于工作箱（7）上方，所述电机（6）输出端设置有第二传动轴（10），所述工作箱（7）内底侧壁左半区域和中央区域分别设置有左盛放槽和右盛放槽，所述左盛放槽和右盛放槽内部分别设置有左滚珠轴承（11）和右滚珠轴承（12），所述第一齿轮（8）和第二齿轮（9）均位于工作箱（7）内部，所述第二传动轴（10）底部穿过第一连接口、第一齿轮（8）和左滚珠轴承（11）上半区域，所述第一齿轮（8）内侧壁与第二传动轴（10）外侧壁连接，所述第二传动轴（10）底部插入到左滚珠轴承（11）内，第二传动轴（10）与左滚珠轴承（11）键连接，第二传动轴（10）底部脱离工作箱（7），所述第二连接口与右盛放槽连通，所述工作箱（7）内顶侧壁设置有上盛放槽，所述上盛放槽内部设置有上滚珠轴承（26）（13），所述第一传动轴（5）顶部穿过旋转口、第二连接口、右滚珠轴承（12）和上滚珠轴承（26）（13）下半区域，第一传动轴（5）与右滚珠轴承（12）和上滚珠轴承（26）（13）键连接，第一传动轴（5）顶部脱离工作箱（7）顶部，所述第一齿轮（8）和第二齿轮（9）啮合连接；还包括上齿轮（14）、下齿轮（15）、上链条（16）、下链条（17）、左齿轮（18）、右齿轮（19）、左安装箱（20）、右安装箱（21）、左连接杆（22）、右连接杆（23）和一组第二搅拌叶（24），所述第一传动轴（5）上半区域设置有上齿轮（14）和下齿轮（15），上齿轮（14）位于下齿轮（15）上方，上齿轮（14）和下齿轮（15）内侧壁与第一传动轴（5）外侧壁连接，所述筒体（1）顶侧壁左半区域和右半区域分别设置有一组放置槽，一组放置槽内分别设置有一组下滚珠轴承（25），所述筒体（1）顶侧壁设置有一组放置口，一组放置口均与清洗腔连通，一组放置口分别与一组放置槽连通，所述左连接杆（22）和右连接杆（23）底部分别穿过一组下滚珠轴承（25）和一组放置口进入筒体（1）内部，左连接杆（22）和右连接杆（23）分别与一组下滚珠轴承（25）键连接，所述左安装箱（20）和右安装箱（21）内部分别设置有一组安装腔，所述左安装箱（20）和右安装箱（21）底侧壁分别与筒体（1）顶侧壁左半区域和右半区域连接，所述左安装箱（20）和右安装箱（21）顶侧壁分别设置有一组过渡槽，所述一组过渡槽内分别设置有一组上滚珠轴承（26）（13），所述左安装箱（20）和右安装箱（21）顶侧壁分别设置有一组第一过渡口，一组第一过渡口分别与一组安装腔连通，一组第一过渡口分别与一组过渡槽连通，所述左安装箱（20）和右安装箱（21）底侧壁分别设置有一组第二过渡口，所述左连接杆（22）和右连接杆（23）上半区域分别穿过一组第一过渡口和一组上滚珠轴承（26）（13），左连接杆（22）和右连接杆（23）分别与一组上滚珠轴承（26）（13）键连接，所述下齿轮（15）和左齿轮（18）上设置有下链条（17），下链条（17）与下齿轮（15）和左齿轮（18）啮合连接，所述上齿轮（14）和右齿轮（19）上设置有上链条（16），上链条（16）与上齿轮（14）和右齿轮（19）啮合连接，所述一组第二搅拌叶（24）左侧壁和右侧壁分别与右连接杆（23）右侧壁下半区域和左连接杆（22）左侧壁下半区域连接，所述左齿轮（18）内侧壁与左连接杆（22）外侧壁连接，所述右齿轮（19）内侧壁与右连接杆（23）外侧壁连接，所述左安装箱（20）右侧壁和右安装箱（21）左侧壁分别设置有一组链条进出口，一组链条进出口分别与一组安装腔连通，所述上链条（16）和下链条（17）分别穿过一组链条进出口；还包括挂钩（27）、支撑块（28）、固定销（29）、下压杆（30）、受力环（31）、一组固定板（32）、中心转轴（33）、下连接杆（34）和一组定位挡板（35），所述下连接杆（34）顶侧壁与第一挡盖（3）底端连接，所述下连接杆（34）中央区域设置有第一旋转孔，所述一组固定板（32）右侧壁均与筒体（1）左侧壁连接，所述一组固定板（32）中央区域分别设置有一组第二旋转孔，所述中心转轴（33）穿过第一旋转孔和一组第二旋转孔，所述一组定位挡板（35）前侧壁和后侧壁分别与中心转轴（33）后侧壁和前侧壁连接，所述挂钩（27）和支撑块（28）右侧壁均与筒体（1）左侧壁连接，所述挂钩（27）左半区域穿过受力环（31）顶部，所述下压杆（30）下半区域和上半区域分别设置有第一连接孔和第二连接孔，所述支撑块（28）中央区域设置有第三连接孔，所述固定销（29）穿过第三连接孔和第二连接孔，所述受力环（31）底部穿过第一连接孔。