[发明专利]一种晶圆片抛光装置

摘要

本发明涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆片抛光装置，其可以在放置板顶端设置可以调节尺寸的调节夹，从而可以固定多种尺寸的晶圆片；同时将抛光机固定在支架上工作，降低人为因素对抛光机加工精度的影响；同时可以提高粗轮抛光机和细轮抛光机切换使用的效率；包括操作台、放置板、晶圆片、粗轮抛光机和细轮抛光机；还包括两组挤压夹、拉伸弹簧、两组齿轮条、两组带动杆和同步齿轮，放置板的内部上侧区域设置有拉伸腔；还包括螺纹调节杆、两组轴承、升降杆、支撑横杆和两组限位轨，两组限位轨分别设置有两组滑动槽；还包括滑板、两组插销杆、两组挤压弹簧、两组限位片和两组拉伸钮。

主权项

1.一种晶圆片抛光装置，包括操作台（1）、放置板（2）、晶圆片（3）、粗轮抛光机（4）和细轮抛光机（5），所述放置板（2）的底端与操作台（1）的顶端中部连接，所述放置板（2）的顶端设置有放置槽；其特征在于，还包括两组挤压夹（6）、拉伸弹簧（7）、两组齿轮条（8）、两组带动杆（9）和同步齿轮（10），所述放置板（2）的内部上侧区域设置有拉伸腔，所述同步齿轮（10）的中部转动设置有支撑轴，所述支撑轴的底端与拉伸腔的底端中部连接，所述支撑轴的顶端与拉伸腔的顶端中部连接，所述拉伸腔的顶端左侧和右侧均设置有滑动口，所述两组带动杆（9）自拉伸腔外侧分别穿过两组滑动口并伸入到拉伸腔内，所述两组带动杆（9）的顶端分别与两组挤压夹（6）的底端中部连接，所述两组带动杆（9）的底端分别与两组齿轮条（8）的固定端连接，所述两组齿轮条（8）的齿牙端分别与同步齿轮（10）的前端和后端咬合，所述拉伸弹簧（7）的左端和右端分别与两组带动杆（9）的内侧壁中部连接；还包括螺纹调节杆（11）、两组轴承（12）、升降杆（13）、支撑横杆（14）和两组限位轨（15），所述两组限位轨（15）的底端分别与操作台（1）的顶端的左侧和右侧连接，所述两组限位轨（15）分别设置有两组滑动槽，所述升降杆（13）的两端分别设置有两组滑片，所述两组滑片分别与两组滑动槽滑动连接，所述两组限位轨（15）的顶端分别与支撑横杆（14）的左端和右端连接，所述支撑横杆（14）的顶端和底端的中部连通设置有连通孔，所述升降杆（13）的顶端和底端的左侧和右侧分别连通设置有两组转动孔，所述升降杆（13）的底端和顶端的中部连通设置有螺纹孔，所述螺纹调节杆（11）的螺纹端自支撑横杆（14）的上侧穿过连通孔并伸出至支撑横杆（14）的下侧，并且所述螺纹调节杆（11）的螺纹端自升降杆（13）的顶端螺接穿过螺纹孔并伸出至升降杆（13）的下侧，所述两组轴承（12）均与螺纹调节杆（11）的上侧转动套装，所述两组轴承（12）包括上轴承和下轴承，所述上轴承的底端与支撑横杆（14）的顶端中部紧贴，所述下轴承的顶端与支撑横杆（14）的底端中部紧贴，所述粗轮抛光机（4）和细轮抛光机（5）均设置有双腿支架，所述两组双腿支架的支撑端分别与升降杆（13）的顶端的左侧和右侧连接，所述粗轮抛光机（4）的输出轴和细轮抛光机（5）的输出轴分别自升降杆（13）的顶端穿过两组转动孔并伸出至升降杆（13）的下侧，所述粗轮抛光机（4）的输出轴底端设置有粗抛光轮，所述细轮抛光机（5）的输出轴底端设置有细抛光轮；还包括滑板（16）、两组插销杆（17）、两组挤压弹簧（18）、两组限位片（19）和两组拉伸钮（20），所述放置板（2）的左端和右端中部连通设置有位移孔，所述滑板（16）的左端自位移孔的右端穿过位移孔并伸出至位移孔的左侧，所述滑板（16）的两端分别与两组限位轨（15）的内侧壁的下侧连接，所述滑板（16）底端的左侧和右侧分别设置有两组限位孔，所述放置板（2）的内部下侧设置有两组压缩腔，所述两组压缩腔的顶端均设置有伸出口，所述两组压缩腔的底端设置有调节口，所述两组插销杆（17）的顶端分别自两组调节口的下侧穿过调节口并分别伸入到两组压缩腔内，然后两组插销杆（17）的顶端分别自两组限位孔下侧穿过两组限位孔并分别伸出至两组限位孔的上侧，所述两组插销杆（17）的顶端与滑板（16）的底端紧贴，所述两组插销杆（17）的底端分别与两组拉伸钮（20）的顶端连接，所述两组挤压弹簧（18）分别活动套装在两组插销杆（17）上，所述两组挤压弹簧（18）的顶端分别与两组限位片（19）的底端连接，所述两组挤压弹簧（18）底端分别与两组压缩腔的底端连接，所述两组限位片（19）分别与两组插销杆（17）的中部套装。